Le contrôle de l’humidité lors de la production de semi-conducteurs permet de prévenir l’apparition d’électricité statique, empêche les changements de dimensions pouvant se produire sur la surface des plaquettes de Silicium et rafraîchit l’environnement industriel.

Toute décharge d’électricité statique incontrôlée se produisant durant la fabrication peut endommager la surface des semi- conducteurs et réduire significativement les rendements. Le processus de production génère de la chaleur qui assèche l’air. Comme l’air sec favorise le développement de l’électricité statique, des humidificateurs sont utilisés pour maîtriser l’air ambiant aux alentours de 55% d’humidité relative (%HR), ce qui favorise la disparition naturelle de l’électricité statique et élimine donc le risque de dommage sur la surface du semi-conducteur.

Cependant, les surfaces imprimés des plaquettes de silicium sont également très sensibles à l’humidité. L’espace conducteur sur la surface peut être altéré s’il est exposé à des niveaux d’humidités inadaptés. Des contrôles extrêmement précis du point de rosée à ±0.1°C doivent être effectué toutes les 40 minutes. Toute variation plus importante causera des dommages sur la surface conductrice et détériora le semi-conducteur.

Les humidificateurs de vapeur comme le Neptronic SKE utilisé conjointement avec un système de traitement d’eau PureFlo RO peuvent fournir un tel contrôle.

Bien que la vapeur fournisse un contrôle extrêmement précis, des humidificateurs à pulvérisation d’eau froide de haute qualité, comme le JetSpray, peuvent être utilisés.
L’évaporation du jet crée un effet de refroidissement adiabatique qui contribue à réduire la température durant le processus de production réduisant ainsi le besoin en refroidissement.

JS Humidificateurs propose un humidificateur JetSpray sur mesure pour les applications semi-conducteurs, ce dernier étant équipé d’une vanne de régulation modulante qui fournit un contrôle précis et fiable nécessaire pour ce type d’application. Cet humidificateur ne fournit pas seulement du refroidissement, il permet également de bénéficier de coûts de fonctionnement plus faibles que ceux des appareils vapeur, étant donné qu’il utilise de l’eau froide.

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